化学法镀膜的过程控制研究

摘  要:溶胶-凝胶法制备的光学薄膜具有优良的物理化学特性和广阔的应用前景。本文对化学法镀膜中的溶胶制备﹑溶胶保存﹑薄膜制备三个阶段进行了研究,利用透射电镜﹑激光粒度仪﹑红外光谱仪﹑原子力显微镜﹑椭偏仪等仪器对溶胶和薄膜的特性进行检测,对其进行过程控制,其结果对于制备出性能良好的薄膜材料及其产业化应用具有...>>详细

【作  者】王珊

【作者单位】上海工程技术大学基础教学学院,上海200336

【期  刊】《科技资讯》 2009年第33期92-93,共2页

【关 键 词】溶胶凝胶 镀膜 过程控制 

【分 类 号】TQ1

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